产品介绍

Athena HS6500可进行Die的位置偏移与旋转量测，并输出可视化Map图档，输出对应的数据给曝光机作为补偿的依据，并搭配AI的外观检测技术将外观瑕疵进行检出。该设备可兼容6”、8”wafer与515x510 mm玻璃基板来料。设备需定期进行照度检测、补偿及自动量测校正。

产品特点

1、快速换型：支持快速配置recipe，产品换型时间≤30分钟
2、OCR：具备产品ID扫描、检测数据与ID绑定功能
3、校准点检：支持定期对光源亮度、运动平台精度进行点检，对检测分辨率进行校准
4、自动对焦：支持成像自动对焦
5、Review复判：可对检测结果进行查看，并对检测结果进行修正
6、离线仿真：可加载离线图片对当前的检测效果进行查看，并对检测参数和阈值进行修改