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封装 / 设备详情

Zeus HS3000TGV 蚀刻后 AOI 检测

产品介绍

ZeusHS3000型 TGV半自动板级玻璃蚀刻后通孔全检机:采用自动光学检测(AOI)技术对蚀刻后玻璃基板上的所有通孔进行全检,包括玻璃基板的正面、反面、腰孔位置,确保蚀刻后通孔结构(孔径、漏孔、孔通断、孔位置、真圆度等)的稳定性与可靠性。可根据通孔检测结果反馈与优化前序制程设备的配方和流程,提高生产良率。

产品特点

1、蚀刻后全检是 提升打孔良率 最关键的技术,检测重复性 ≤1%;
2、缺陷类型:脏污、孔有无、双面孔径&圆度、腰孔径、孔内异物等;
3、分辨率:≤1um;
4、3 UPH@510*515,10 UPH@8”,20 UPH@6” @ 50um;

检测项目

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