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封装 / 设备详情
产品介绍
ZeusHS3000型 TGV半自动板级玻璃蚀刻后通孔全检机：采用自动光学检测（AOI）技术对蚀刻后玻璃基板上的所有通孔进行全检，包括玻璃基板的正面、反面、腰孔位置，确保蚀刻后通孔结构（孔径、漏孔、孔通断、孔位置、真圆度等）的稳定性与可靠性。可根据通孔检测结果反馈与优化前序制程设备的配方和流程，提高生产良率。
产品特点
1、蚀刻后全检是 提升打孔良率 最关键的技术，检测重复性 ≤1%；
2、缺陷类型：脏污、孔有无、双面孔径&圆度、腰孔径、孔内异物等；
3、分辨率：≤1um；
4、3 UPH@510*515，10 UPH@8”，20 UPH@6” @ 50um；
检测项目
