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TGV全工艺流程检测设备 / 设备详情
产品介绍
系统采用相干光扫描成像技术，结合纳米级精密运动平台，实现对基板表面及亚表面缺陷的高灵敏度检测，为后续TGV工艺筑牢第一道质量防线。
产品特点
1、纳米级精密运动平台的校准能力
2、可实现划痕，裂纹方面等检测
3、相干光扫描成像光学系统
检测项目
