
产品特点
1.检测速度0.25sec/FOV,检测分辨率可达1um/Pixel;
2.光学系统搭配光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、接触式位移传感器以及探针,可以实现2D+高度的复合式测量;
3.测量项目包括距离、角度、半径等尺寸公差测量,以及平面度、同轴度、圆柱度、位置度等形位公差测量;
4.高精度大理石运动平台,配合高精密光栅尺,重复定位精度可达2.5um;
5.功能强大的多传感器复合测量软件,具有2D/3D测量、形位公差评价、脱机编程等功能;
6.丰富的SPC统计分析工具,可自动生成均值和极差图、