产品介绍

采用大理石基座、高精度线性导轨、玻璃工作台，确保高精度、高稳定性、高性价比。可根据实际测量精度和视野需求，选用线光谱传感器，结合功能强大的复合测量软件，完成3D平面尺寸测量。被广泛地应用于手机行业、半导体、电池、医疗产品等行业。

产品特点

1.3D在Z向的检测精度最高可达0.05um；
2.光学系统主要采用LMI线光谱；
3.测量项目主要包括外轮廓、槽深、间隙、凸点、凹坑等微纳米极3D尺寸测量；
4.高精度大理石运动平台，配合高精密光栅尺，重复定位精度可达2.5um；
5.功能强大的多传感器复合测量软件，具有2D/3D测量、轮廓扫描、CAD比对、脱机编程等功能；
6.丰富的SPC统计分析工具，可自动生成均值和极差图、正态分布图、以及Cpk、GRR等报告。